大视野目镜:10X无限远长工作距离明暗场物镜:5X 10X 40X 60X 100X支持光学放大:50X-1000X
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一、用途
WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中常用的检测仪器之一.
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PL L5X/0.12 工作距离:26.1 mm
PL L40X/0.60 工作距离:3.98 mm
PL L100X/0.90 工作距离:2.2 mm (干式)
30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm.
粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm.
五孔(内向式滚珠内定位)
双层机械移动式载物台, 外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm
6V30W卤素灯,亮度可调
内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器
阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降
配置蓝滤色片与磨砂玻璃片
防霉
系统组成
1.硅片检测显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机(选购)
1、硅片检测显微镜 2、适配镜 3、数码相机(选购)
分划目镜10X(Φ22mm)
明场物镜 20X、50X、80X
0.5X、1X、0.5X带分划尺
USB输出:130/300/500/1000万像素
CANON(EF) NIKON(F)
二维图像测量分析软件<span style="font-family:;" color:#333333;font-size:9pt;"="">
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